日本UNION HISOMET非接觸式測(cè)量工具顯微鏡

非接觸式深度測(cè)量工具顯微鏡
HISOMET系列工具顯微鏡為一專(zhuān)業(yè)X、Y、Z軸座標(biāo)測(cè)量顯微鏡，X、Y工作臺(tái)行程由100＊200mm到大行程500＊500mm，放大倍數(shù)由5至1000×。為求提高工件在Z軸深度/高度測(cè)量時(shí)的精度，Z軸對(duì)焦採(cǎi)用一專(zhuān)利光學(xué)“裂像指示器”，結(jié)合精密的Z軸“Cross Roller Bearing”導(dǎo)軌，可測(cè)範(fàn)圍25 mm，精度高達(dá)1μm，配合特殊附件，測(cè)量分解度更可達(dá)0.5μm或0.1μm. 
技術(shù)規(guī)格

型號(hào)：DH II
工作臺(tái)行程：100＊200mm/150＊300mm/500＊500mm
Z軸測(cè)量範(fàn)圍：25mm/25mm/25mm
三軸分解度：0.001mm
Z軸讀數(shù)裝置：ID-F內(nèi)置數(shù)顯表/外置數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)
反射照明系統(tǒng)： 內(nèi)置8V-15W鎢絲燈/外置冷光源
標(biāo)準(zhǔn)目鏡：10X
標(biāo)準(zhǔn)物鏡：10X
讀數(shù)系統(tǒng)
DRO200S簡(jiǎn)易坐標(biāo)讀數(shù)器/QC200多功能數(shù)據(jù)處理器/QC5000測(cè)量軟件電腦系統(tǒng)